TEL.044-870-0102 FAX.044-857-0514
Mail.info@fine-techno.com
〒216-0006 神奈川県川崎市宮前区宮前平1-10-3-303
・ポリコールド(Brooks Automation Polycold Systems)
独自の冷却サイクルにて、1台のコンプレッサーのみを用い、不燃性かつ安全な混合冷媒ガスの圧縮/膨張を
繰り返すことにより、最大-160℃まで冷却を行います。チャンバー内の水分子(H2O)を超低温のクライオコイル
(冷却 用コイル)に吸着排気させる事により、従来の排気時間を25%〜75%短縮させる事が可能です。
蒸着装置、スパッタ装置、イオン注 入装置、ロールコーター、イオンミリング装置、真空溶解炉
電子ビ ーム溶接装置、リークディテクター等、あらゆる真空装置のクライオ コイル、コールドトラップ
バッフル等の冷却に使われています。
1.蒸着用フィラメント及びボート
EBフィラメント/抵抗加熱用フィラメント、ボート他、ニーズに合わせご指定寸法で製作致します
2.電子銃部品
3.プラズマ銃、イオン銃パーツ
4.膜厚コントロール用パーツ
水晶振動子の新品及び再生加工品
5.カーボンパーツ
6.セラミック部品
EB用、イオン銃、プラズマ用、その他絶縁用パーツ
7.防着用アルミ箔・カプトン耐熱テープ
厚手大型アルミ箔の少数ロット販売…
多数サイズ取り揃えております
8.ランプ類
光学モニター用、検査用、加熱ヒーター用、特殊ランプの製作
9.オイルミストトラップ用エレメント各種
・小型パッキン及び甲丸甲山大型パッキン
・エレメントは紙製、樹脂製、セラミック製の各サイズ取り揃えております
10.一般加工部品
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